国家知识产权局信息显示，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司申请一项名为“基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置及校准方法”的专利，公开号CN121245861A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本发明公开了基于预设轨迹的双臂机械手动态校准装置及校准方法，涉及晶圆输送领域，包括：导向移动件，用于提供并约束一预设的直线运动轨迹；支承件，与导向移动件连接，并能受控地沿直线运动轨迹移动；两个对称设置的浮动连接件，安装于所述支承件上，浮动连接件位于直线运动轨迹的两侧且分别与两个手臂的末端关节可拆卸地刚性连接；其中，每一浮动连接件均能绕一垂直于直线运动轨迹的轴线旋转，并能沿所述轴线的方向适应性浮动；当支承件沿直线运PG电子官方网站动轨迹移动时，两个浮动连接件能够同时牵引两个手臂同步沿直线运动轨迹伸展或收缩。采用上述方案，在多源误差叠加环境下快速校准双臂以实现双臂运动轨迹的稳定一致。

　　天眼查资料显示，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司，成立于2020年，位于沈阳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2000万PG电子官方网站人民币。通过天眼查大数据分析，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司参与招投标项目3次，财产线条，此外企业还拥有行政许可7个。

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